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FreeDATA

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微光刻数据分析包能够拟合博松型数据集，也称为对焦暴露矩阵。 关键词： 光刻， 光刻画， 光刻画， 工艺窗口， 关键尺寸， CD， 博松， FEM

版本历史记录

  • 版本 N/A 发布于 2011-08-11
    若干修复和更新
  • 版本 N/A 发布于 2011-08-11

软件信息

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