freesecs
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关于 freesecs
FREESECS 是半 SECS 标准的开源项目。该软件是用GNU自动工具/GCC编译的,在Linux操作系统上运行。 FREESECS包括HSMS-SS(SEMI E37.1)、SECSII(SEMI E5)、300mm和接口A(计划)。http://opensecs.sourceforge.n