FREESECS 是半 SECS 标准的开源项目。该软件是用GNU自动工具/GCC编译的,在Linux操作系统上运行。 FREESECS包括HSMS-SS(SEMI E37.1)、SECSII(SEMI E5)、300mm和接口A(计划)。http://opensecs.sourceforge.n
版本历史记录
- 版本 files 发布于 2010-06-06
若干修复和更新 - 版本 N/A 发布于 2010-06-06
软件信息
- 软件分类: 网络与互联网 > 其他
- 发布者: opensecs.sf.net
- 许可: 免费
- 价格: N/A
- 版本: Array
- 适用平台: linux