FREESECS 是半 SECS 标准的开源项目。该软件是用GNU自动工具/GCC编译的，在Linux操作系统上运行。 FREESECS包括HSMS-SS（SEMI E37.1）、SECSII（SEMI E5）、300mm和接口A（计划）。http://opensecs.sourceforge.n
版本历史记录
- 版本 files 发布于 2010-06-06
若干修复和更新 - 版本 N/A 发布于 2010-06-06
软件信息
- 软件分类： 网络与互联网 > 其他
- 发布者： opensecs.sf.net
- 许可： 免费
- 价格： N/A
- 版本： Array
- 适用平台： linux