开发者 opensecs.sf.net

FREESECS 是半 SECS 标准的开源项目。该软件是用GNU自动工具/GCC编译的，在Linux操作系统上运行。 FREESECS包括HSMS-SS（SEMI E37.1）、SECSII（SEMI E5）、300mm和接口A（计划）。http://opensecs.sourceforge.n